[实用新型]一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置有效

专利信息
申请号: 201822207393.X 申请日: 2018-12-26
公开(公告)号: CN209937242U 公开(公告)日: 2020-01-14
发明(设计)人: 周传水;李隽;余永强;柯尚文 申请(专利权)人: 广东凯盛光伏技术研究院有限公司;中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
主分类号: B28B15/00 分类号: B28B15/00;B28B17/00
代理公司: 44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人: 左恒峰
地址: 528137 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置,包括多个浆料罐,所述浆料罐外设有真空管道,所述浆料罐通过气动阀连接到真空管道,所述真空管道连接有排污罐,所述排污罐通过管道连接有真空罐,所述真空罐通过管道连接有真空泵,所述真空罐上方设有压力表。真空泵将真空罐抽成近真空状态,压力表显示真空罐内的压力情况,与真空罐相连的排污罐会通过真空管道将浆料罐内的泡沫抽到排污罐内。这样通过真空管道统一将浆料罐内的泡沫抽出,不用一台浆料罐配一台真空泵,该装置结构简单、占地面积小,设备电线线路少,设备维护工作量小,有利于工业生产。
搜索关键词: 真空管道 真空罐 浆料罐 排污罐 真空泵 管道连接 浆料 压力表 中央真空系统 本实用新型 压力表显示 除泡设备 电线线路 设备维护 装置结构 近真空 气动阀 注浆 工作量 抽出 排污 统一
【主权项】:
1.一种ITO靶材注浆除泡设备的中央真空系统装置,其特征在于:包括多个浆料罐(1),所述浆料罐(1)外设有真空管道(2),所述浆料罐(1)通过气动阀(3)连接到真空管道(2),所述真空管道(2)连接有排污罐(4),所述排污罐(4)通过管道连接有真空罐(5),所述真空罐(5)通过管道连接真空泵(6),所述真空罐(5)上方设有压力表(51)。/n
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