[实用新型]一种扩晶装置有效
| 申请号： | 201822209164.1 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209183909U | 公开（公告）日： | 2019-07-30 |
| 发明（设计）人： | 王江 | 申请（专利权）人： | 广东欧美亚智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01R33/00 | 分类号： | H01R33/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 东莞市神州众达专利商标事务所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 刘汉民 |
| 地址： | 523000 广东省东莞市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种扩晶装置，包括底板、压膜组件、扩晶盘、扩晶驱动模组、压圈盘、压圈驱动件、熔膜环，压膜组件设于底板上方并向底板压合，底板的中心开设有扩晶口，扩晶盘设于扩晶口的下方，扩晶盘的顶端沿圆周边缘设有用于固定内圈的阶梯结构，扩晶盘内设有发热管，扩晶驱动模组与扩晶盘驱动连接并驱动扩晶盘沿竖直移动，压圈盘设于扩晶口的上方，压圈盘的底面设有用于固定外圈的固定件，压圈驱动件与压圈盘驱动连接并驱动压圈盘沿竖直移动，熔膜环设于扩晶口的正下方，熔膜环内设有发热管，压圈盘的直径、熔膜环的内径均与外圈的外径相同。本实用新型通过熔膜环的高温将外圈以外的蓝膜部分熔断开来，实现了自动除膜操作，提高了加工效率和加工质量。 | ||
| 搜索关键词： | 压圈 晶盘 底板 熔膜 扩晶装置 驱动模组 竖直移动 压膜组件 发热管 驱动件 熔断 本实用新型 驱动 固定内圈 固定外圈 加工效率 阶梯结构 驱动连接 圆周边缘 固定件 盘驱动 除膜 底面 环设 蓝膜 盘设 盘沿 压合 加工 | ||
【主权项】：
1.一种扩晶装置，其特征在于：包括底板、压膜组件、扩晶盘、扩晶驱动模组、压圈盘、压圈驱动件、熔膜环，所述压膜组件设于底板上方并向底板压合，所述底板的中心开设有扩晶口，所述扩晶盘设于扩晶口的下方，扩晶盘的顶端沿圆周边缘设有用于固定内圈的阶梯结构，扩晶盘内设有发热管，所述扩晶驱动模组与扩晶盘驱动连接并驱动扩晶盘沿竖直移动，所述压圈盘设于扩晶口的上方，压圈盘的底面设有用于固定外圈的固定件，所述压圈驱动件与压圈盘驱动连接并驱动压圈盘沿竖直移动，所述熔膜环设于扩晶口的正下方，所述熔膜环内设有发热管，所述压圈盘的直径、熔膜环的内径均与外圈的外径相同。
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