[实用新型]真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体有效
| 申请号： | 201822210676.X | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209511158U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 徐飞;张敬娣;廖良生;高永喜;黄龙根 | 申请（专利权）人： | 苏州方昇光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K51/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 蒋慧妮 |
| 地址： | 215021 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空腔体密封用门阀及应用该门阀的真空腔体，门阀包括门阀组件，及用于驱动门阀组件的驱动组件；门阀组件包括导轨，滑动设置在导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在推动板一侧的密封板，连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，门阀组件还包括固定设置的有用于限制密封板最大行程的限位结构。所述门阀的可应用于真空腔体的密封，本实用新型的门阀结构新颖，应用于相邻真空腔时，缩短了两个真空腔的距离，避免使用过渡室，缩短了取用机械手的长度，节约了生产成本，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 门阀 真空腔体 门阀组件 推动板 密封板 密封 本实用新型 驱动组件 应用 导轨 铰接 驱动 导轨移动 固定设置 滑动设置 活动连接 生产效率 限位结构 相邻真空 最大行程 机械手 过渡室 真空腔 取用 生产成本 节约 | ||
【主权项】：
1.真空腔体密封用门阀，其特征在于，包括：门阀组件，及用于驱动所述门阀组件的驱动组件；所述门阀组件包括固定设置的导轨，滑动设置在所述导轨上的推动板，以及通过连杆活动连接在所述推动板一侧的密封板，所述连杆的一端铰接在所述推动板上，另一端铰接在所述密封板上，所述驱动组件驱动所述推动板沿所述导轨移动，所述门阀组件还包括固定设置的用于限制密封板最大行程的限位结构。
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