[实用新型]一种蒸发源系统维护装置有效
| 申请号： | 201822211455.4 | 申请日： | 2018-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN209508390U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 庞浩 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;B25J15/00;B25J15/08 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蒸发源系统维护装置，蒸发源系统内设置有石墨坩埚，蒸发源系统维护装置包括：支撑件，用于支撑蒸发源系统；抓取装置，包括：支架以及用于抓取所述石墨坩埚的卡钳组件，其中，所述卡钳组件滑动装配在所述支架上，且所述卡钳组件在所述支架上的滑动方向与所述蒸发源系统内的石墨坩埚的轴线平行。通过设置的抓取装置与支撑件的配合抓取蒸发源系统中的石墨坩埚，提高了石墨坩埚在取出时的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发源 石墨坩埚 系统维护装置 支架 抓取 卡钳组件 抓取装置 支撑件 本实用新型 的卡钳组件 滑动方向 滑动装配 轴线平行 取出 支撑 配合 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源系统维护装置，所述蒸发源系统内设置有石墨坩埚，其特征在于，所述蒸发源系统维护装置包括：支撑件，用于支撑蒸发源系统；和抓取装置，包括支架以及用于抓取所述石墨坩埚的卡钳组件，所述卡钳组件滑动装配在所述支架上，且所述卡钳组件在所述支架上的滑动方向与所述蒸发源系统内的石墨坩埚的轴线平行。
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