[实用新型]一种硅片用夹具有效

专利信息
申请号: 201822211662.X 申请日: 2018-12-27
公开(公告)号: CN209335466U 公开(公告)日: 2019-09-03
发明(设计)人: 陈李刚;朱国强;侯海龙;蒋志彬;曾慧;纪步成 申请(专利权)人: 衢州晶哲电子材料有限公司
主分类号: B25B11/00 分类号: B25B11/00
代理公司: 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 代理人: 刘奇
地址: 324022 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种硅片用夹具,包括具有夹持腔的夹持盒体,其特征在于:包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件;各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销,各转动销上均固定连接有翻转夹块,各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽;本实用新型的有益效果:夹持效果好,使用多元化。
搜索关键词: 卡槽 夹持模块 翻转 夹持腔 夹块 夹具 本实用新型 夹持盒体 限位槽 限位片 转动销 硅片 滑槽 凹槽两侧槽壁 定位组件 滑槽两侧 多元化 固定的 贯穿 槽壁 夹持 内壁 腔壁
【主权项】:
1.一种硅片用夹具,包括具有夹持腔的夹持盒体,其特征在于:包括设于夹持腔的两侧腔壁上相互对应且一端贯穿夹持腔内壁的凹槽、分别设于各对应凹槽内的夹持模块以及用于使得夹持模块与夹持盒体固定的定位组件;各夹持模块均包括设于各凹槽两侧槽壁之间的滑槽、分别设于各滑槽两侧槽壁上的限位槽、活动于各限位槽之间的限位片以及固定连接于各限位片之间且在滑槽内活动的转动销,各转动销上均固定连接有翻转夹块,各翻转夹块的两侧均间隔设有若干个且贯穿翻转夹块顶部和底部的第一卡槽、第二卡槽、相互对应的第三卡槽、相互对应的第四卡槽以及相互对应的第五卡槽;所述定位组件包括若干个分别间隔固定连接于所述翻转夹块顶部且分别位于各卡槽之间的定位块,所述凹槽靠近底部的槽壁上以及各凹槽靠近顶部的槽底上均间隔设有若干个用于和定位块卡接的限位组件。
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