[实用新型]一种具有散热设备的真空镀膜机有效

专利信息
申请号: 201822224459.6 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209428587U 公开(公告)日: 2019-09-24
发明(设计)人: 蒋贵霞;贾建国 申请(专利权)人: 昆山英利悦电子有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种具有散热设备的真空镀膜机,包括镀膜机腔体、放置架、第一散热水管、第二散热水管和驱动单元,镀膜机腔体包括内层和外层;放置架包括底板、支撑杆和若干个放料板;底板设于镀膜机腔体底部,支撑杆为空腔结构,一端与底板相连,另一端设有与其内部连通的开口;放料板内部均设有空腔,与支撑杆连通;第一散热水管设于镀膜机腔体的内层与外层之间,一端与水箱内的水泵相连,另一端与支撑杆相连通;第二散热设于镀膜机腔体的内层与外层之间,一端与镀膜机腔体外部水箱连通,另一端与支撑杆连通;驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间,且输出轴与放置架的底部相连。本实用新型能够大大缩短真空镀膜机的降温时间,提高生产效率。
搜索关键词: 镀膜机 腔体 支撑杆 内层 底板 真空镀膜机 散热水管 放置架 本实用新型 驱动单元 散热设备 放料板 连通 空腔结构 内部连通 腔体外部 生产效率 水箱连通 输出轴 散热 水箱 水泵 开口
【主权项】:
1.一种具有散热设备的真空镀膜机,其特征在于,包括:镀膜机腔体,所述镀膜机腔体包括内层和外层;放置架,所述放置架设于所述镀膜机腔体内,其包括底板、支撑杆和若干个放料板;所述底板设于所述镀膜机腔体的底部,所述支撑杆为空腔结构,其垂直于所述底板设置,一端与所述底板固定相连,另一端上设有与其内部连通的开口,且贯穿所述镀膜机腔体内层的顶壁;各放料板内部均设有空腔,且分别与所述支撑杆内的空腔连通;第一散热水管,所述第一散热水管设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间,呈迂回型,一端与镀膜机腔体外部水箱内的水泵相连,另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通;第二散热水管,所述第二散热设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间,其长度小于第一散热水管的长度,一端与镀膜机腔体外部水箱连通,另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通;驱动单元,所述驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间,且输出轴与所述放置架的底部相连。
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