[实用新型]一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置有效

专利信息
申请号: 201822234319.7 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209873180U 公开(公告)日: 2019-12-31
发明(设计)人: 江顺钦;徐华浦;缪云展;曹磊 申请(专利权)人: 阜宁苏民绿色能源科技有限公司
主分类号: C30B33/10 分类号: C30B33/10;H01L31/18
代理公司: 32224 南京纵横知识产权代理有限公司 代理人: 朱海琳;董建林
地址: 224400 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴,所述水管平行于所述储水罐长度方向设置,与其底部依次连接,所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴,所述液位计设置在所述储水罐内,所述流量计设置在所述储水罐进水口,所述储水罐一端内侧还设有溢流板,将所述储水罐分为溢流区与出水区。本装置具有各道出水均匀且独立可控的特点。
搜索关键词: 储水罐 流量计 水管 喷嘴 液位计 长度方向设置 储水罐进水口 水膜喷淋装置 本实用新型 独立可控 依次连接 出水区 溢流板 溢流区 出水 刻蚀 平行
【主权项】:
1.一种出水均匀的刻蚀水膜喷淋装置,其特征是,包括圆柱形储水罐、液位计、流量计、若干水管以及若干喷嘴,所述水管平行于所述储水罐长度方向设置,与其底部依次连接,所述水管底部沿长度方向依次设有若干所述喷嘴,所述液位计设置在所述储水罐内,所述流量计设置在所述储水罐进水口,所述储水罐一端内侧还设有溢流板,将所述储水罐分为溢流区与出水区。/n
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