[实用新型]一种薄膜制备设备有效
| 申请号： | 201822245710.7 | 申请日： | 2018-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN209836303U | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 曾雄;惠述伟;张升飞 | 申请（专利权）人： | 华夏易能(广东)新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/00 | 分类号： | C23C18/00 |
| 代理公司： | 11489 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 517000 广东省河源市高新技术产业*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜制备设备，包括：将注入反应液进行化学沉积反应的反应槽(10)；设置在反应槽(10)外部的循环装置(20)，循环装置(20)的一端与反应槽(10)底部连通，另一端与反应槽(10)上部连通，循环装置(20)将经反应槽(10)上部溢出的反应液输送至外部加热器加热，然后经反应槽(10)底部的注液口注入该反应液，还包括：至少一个加热装置(30)，设置在反应槽(10)下部或底部外侧，用于非接触地对反应槽(10)内的反应液加热；测温仪(40)，设置在反应槽(10)上部出口附近，用于检测反应槽(10)溢流反应液的温度。采用本实施方案，有效地解决加热时延问题，并使反应槽(10)内反应液迅速升温的同时温度均匀分布。 | ||
| 搜索关键词： | 反应槽 循环装置 加热 薄膜制备设备 化学沉积反应 本实用新型 外部加热器 底部连通 加热装置 检测反应 温度均匀 迅速升温 测温仪 非接触 有效地 注液口 时延 溢流 连通 溢出 外部 出口 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜制备设备，包括：用于注入反应液进行化学沉积反应以制备薄膜的反应槽(10)；设置在所述反应槽(10)外部的循环装置(20)，所述循环装置(20)的一端与所述反应槽(10)底部连通，其另一端与所述反应槽(10)上部连通，所述循环装置(20)将经反应槽(10)上部的溢流口溢出的反应液输送至外部加热器加热，然后通过反应槽(10)底部的注液口向所述反应槽内(10)注入加热后的反应液，其特征在于，还包括：/n至少一个加热装置(30)，设置在所述反应槽(10)下部或底部外侧，用于非接触地对所述反应槽(10)内的反应液加热；/n测温仪(40)，设置在所述反应槽(10)上部出口附近，用于检测所述反应槽(10)上部的溢流反应液的温度。/n
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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