[实用新型]蒸镀装置有效

专利信息
申请号: 201822246154.5 申请日: 2018-12-28
公开(公告)号: CN209702839U 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 黄航 申请(专利权)人: TCL集团股份有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 代理人: 张全文<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 516006 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及真空蒸镀技术领域,提供一种蒸镀装置包括蒸镀腔室、加料腔室、设于蒸镀腔室内的第一容器,以及设于加料腔室内的加料装置,在蒸镀腔室与加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口,加料装置包括第一传送机构以及安装在第一传送机构上的第二容器,第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将第二容器从加料腔室传送至蒸镀腔室,第二容器用于向第一容器添加蒸镀材料。本实用新型提供的蒸镀装置中,通过隔板和关闭的窗口将两腔室隔离,当需要加料时,窗口打开,第一传送机构将有蒸镀材料的第二容器运送至蒸镀腔室向第一容器添加蒸镀材料,整个加料过程通过加料装置完成,避免因手动添加材料使第一容器移位而导致膜厚发生偏差。
搜索关键词: 传送机构 第二容器 第一容器 蒸镀腔室 加料腔 加料装置 蒸镀材料 隔板 本实用新型 蒸镀装置 加料 室内 真空蒸镀技术 手动添加 可打开 蒸镀腔 移位 膜厚 腔室 传送 隔离 运送 配置
【主权项】:
1.一种蒸镀装置,其特征在于:包括蒸镀腔室、加料腔室、设于所述蒸镀腔室内的第一容器,以及设于所述加料腔室内的加料装置,在所述蒸镀腔室与所述加料腔室之间的隔板上设有可打开的窗口,所述加料装置包括第一传送机构以及安装在所述第一传送机构上的第二容器,所述第一传送机构被配置为通过打开的所述窗口将所述第二容器从所述加料腔室传送至所述蒸镀腔室,所述第二容器用于向所述第一容器添加蒸镀材料。/n
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