[实用新型]一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构

摘要

一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，包括工作间，工作间内设置有开盒机构、第一货架、第二货架、第一机械手、第二机械手，第一机械手、第二机械手均移动设置在龙门架上，第一货架、第二货架分别设置在开盒机构的两侧。本实用新型设计了一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，可实现自动开盒并将卡塞装入盒子中后再关盒，卡塞与盒子的搬运可自动化搬运，操作不便，提高生产效率，自动化程度高，降低人力成本，大大提高了企业效益。

主权项

1.一种用于晶圆片卡塞自动装盒子的搬运机构，该卡塞包括左右对称的框架本体，所述框架本体内部的两侧均设置有若干均布的第一卡板，所述框架本体前方开口的两侧均设置有第一翻边，所述第一翻边垂直所述第一卡板设置，所述框架本体的上端面设置有两个“﹃”型件，所述“﹃”型件的外侧均设置有第二翻边，所述第二翻边平行所述第一卡板设置；该盒子包括上壳体和下壳体，所述上壳体的一侧与所述下壳体的一侧通过合页转动连接，该盒子的两侧均设置有凹槽；所述搬运机构包括工作间，所述工作间内设置有开盒机构、第一货架、第二货架、第一机械手、第二机械手，所述第一机械手、第二机械手均移动设置在龙门架上，所述第一货架、第二货架分别设置在所述开盒机构的两侧，其特征在于：所述开盒机构包括第一工作台，所述第一工作台上设置有用于放置所述盒子的旋转台，所述旋转台一侧设置有用于打开所述盒子的夹紧模组；所述夹紧模组包括与第二电机传动连接的转轴，所述转轴的两端均固定有摆臂组件，所述摆臂组件包括支撑臂，所述支撑臂的内侧沿其长度方向移动设置有伸缩臂，所述伸缩臂与所述支撑臂之间设置有缓冲件，所述伸缩臂的前端固定有安装座，所述安装座的内侧设置有沿所述盒子方向来回运动的压轮，所述压轮与第一气缸连接，所述支撑臂上端固定有沿所述安装座方向来回运动的第二气缸，所述安装座上端固定有所述第二气缸可以触及并推动的挡板，所述支撑臂上设置有可以检测所述盒子位置的对射光纤；所述第一机械手、第二机械手均连接一夹手，所述夹手包括可与所述第一机械手或第二机械手连接的第一连接板，所述第一连接板内侧设置有两组并排设置的第一轴承座，所述每组第一轴承座之间均设置有第一丝杠组件，所述第一丝杠组件的丝杠螺母外设置有第一移动块，所述第一移动块的一侧固定有第一连接件，所述夹手还包括用于夹持所述卡塞的第一夹具，所述第一夹具包括左右对称的两个夹紧块，所述夹紧块通过所述第一连接件固定在所述第一移动块上。