[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201822278387.3 | 申请日： | 2018-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN209897223U | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 孟珍奎;刘政谚 | 申请（专利权）人： | 瑞声科技(新加坡)有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08;H04R7/08 |
| 代理公司： | 44298 广东广和律师事务所 | 代理人： | 陈巍巍 |
| 地址： | 新加坡卡文迪*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且分别设置在所述背板两侧的第一振膜和第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，所述背板开设有若干个通孔，所述第一振膜和所述第二振膜为圆形，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述通孔设置于所述第一振膜与所述第二振膜之间的第一支撑件，所述第一支撑件的一端连接于所述第一振膜的圆心，另一端连接于所述第二振膜的圆心。通过设置支撑件，有效避免了振膜不必要的偏转，提高了MEMS麦克风的整体灵敏度和信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 振膜 支撑件 背板 电容系统 绝缘间隙 一端连接 圆心 基底 通孔 偏转 本实用新型 整体灵敏度 背板间隔 背板两侧 信噪比 背腔 贯穿 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底以及设于所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对且设置在所述背板一侧的第一振膜、设置于所述背板另一侧的第二振膜，所述第一振膜和第二振膜与背板间隔设置并分别形成第一绝缘间隙和第二绝缘间隙，所述背板开设有若干个通孔，其特征在于：所述第一振膜和所述第二振膜为圆形，所述MEMS麦克风还包括贯穿所述通孔设置于所述第一振膜与所述第二振膜之间的第一支撑件，所述第一支撑件的一端连接于所述第一振膜的圆心，另一端连接于所述第二振膜的圆心。/n
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