[发明专利]配备利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件的集群量产设备在审
| 申请号： | 201880000412.1 | 申请日： | 2018-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN110214383A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 黄昌勋;金圣洙;方新雄 | 申请（专利权）人： | 株式会社OLEDON |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;H01L51/00;H01L21/67;H01L21/68;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 金玲 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及安装有可量产高清晰AMOLED薄膜的垂直面蒸发源蒸镀机的集群量产设备，是通过在高真空蒸镀箱内利用垂直蒸发源在垂直金属面蒸发源蒸镀有机薄膜后，移送至配备垂直基片和垂直阴影掩模的箱体，并将有机薄膜再蒸发而在基片蒸镀细微图案薄膜的配备AMOLED元件的集群量产设备。本发明可有效克服基片上蒸镀细微图案时因有机气体扩散而导致的细微图案蒸镀困难现象，同时防止大面积基片及掩模产生下垂现象并利用基片与掩模之间的细微空间来大大减少阴影现象，并通过无间断连续作业而缩减空转时间并提高有机物使用效率，同时可持续维持高真空环境而大大缩短生产时间，再加上无需面蒸发源蒸镀方向转换设备及工序而具有大幅缩减整体生产成本和时间的同时提升成品生产比例的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀 蒸发源 量产 细微图案 集群 有机薄膜 垂直面 高清晰 掩模 薄膜 配备 方向转换设备 整体生产成本 空转 大面积基片 高真空环境 垂直基片 垂直金属 垂直阴影 连续作业 使用效率 掩模产生 阴影现象 有机气体 高真空 无间断 有机物 蒸镀机 下垂 蒸发 垂直 扩散 生产 | ||
【主权项】：
1.一种利用垂直面蒸发源的高清晰AMOLED元件集群量产设备，其特征在于，其由基片传送箱(61)；具备垂直面蒸发源(20)与有机物粉末蒸发源(30)的面蒸镀箱(62)；面资源FMM蒸镀箱(63)；冷却箱(64)；掩模保管箱(65)；基片卸载箱(66)；以及具备与各箱体相连接的机器人箱(60)的六角形模块(100)构成，并在基片(10)上蒸镀细微图案薄膜。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
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