[发明专利]旋转夹持装置有效
| 申请号： | 201880001714.0 | 申请日： | 2018-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN109311605B | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 赵显祐;姜明锡;郑之欢;汤山明;佐藤优 | 申请（专利权）人： | ULVAC韩国股份有限公司;爱发科股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 张俊国 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种旋转夹持装置，其包括：基座；夹持器，可对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 夹持 装置 | ||
【主权项】：
1.一种旋转夹持装置，包括：基座；夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。
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