[发明专利]溅射靶用切削工具、溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法在审
| 申请号： | 201880003499.8 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN109689925A | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 藤田昌宏 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23C3/04;B23C3/12;B23C5/12 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 牛蔚然;唐峥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 溅射靶用切削工具，其是用于将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的溅射靶用切削工具，其具备轴部、和被设置在所述轴部的前端的刃部，在沿着所述轴部的轴的截面中，所述刃部具有：沿着所述轴延伸的侧面、与所述轴交叉的前端面、位于所述侧面与所述前端面之间且从后端向前端延伸的主凹曲面、在所述主凹曲面的前端与所述前端面之间连接的第1缺口面、和在所述主凹曲面的后端与所述侧面之间连接的第2缺口面。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射靶 切削工具 前端面 轴部 侧面 缺口面 凹曲 刃部 凹曲面 溅射面 轴交叉 轴延伸 倒角 角部 延伸 加工 制造 | ||
【主权项】：
1.溅射靶用切削工具，其是用于将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的溅射靶用切削工具，其具备轴部、和被设置在所述轴部的前端的刃部，在沿着所述轴部的轴的截面中，所述刃部具有：沿着所述轴延伸的侧面、与所述轴交叉的前端面、位于所述侧面与所述前端面之间且从后端向前端延伸的主凹曲面、在所述主凹曲面的前端与所述前端面之间连接的第1缺口面、和在所述主凹曲面的后端与所述侧面之间连接的第2缺口面。
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