[发明专利]基板收纳容器

摘要

本发明提供一种基板收纳容器，其包括：容器主体(2)；盖体，能相对于容器主体开口部进行装拆，并能封闭容器主体开口部；通气流路(210)，能将基板收纳空间(27)与容器主体(2)的外部空间连通；以及气体喷出喷嘴部(8)，具有将流入通气流路(210)的气体供给到基板收纳空间(27)的多个开口部(802)，并且基板收纳容器具有能使气体从多个开口部(802)以均匀化的流量流出的气体流量均匀化部。

主权项

1.一种基板收纳容器，其特征在于，包括：容器主体，具备筒状的壁部，所述壁部的一端部具备形成有容器主体开口部的开口周缘部，另一端部封闭，利用所述壁部的内表面，形成能收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能相对于所述容器主体开口部进行装拆，并且能封闭所述容器主体开口部；通气流路，能将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部空间连通；以及气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气流路的气体供给到所述基板收纳空间的多个开口部，所述基板收纳容器具有能使气体从多个所述开口部以均匀化的流量流出的气体流量均匀化部，所述气体喷出喷嘴部具有清洗液流入阻碍部，在清洗所述容器主体时，所述清洗液流入阻碍部在所述开口部的附近阻止清洗液从所述开口部流入所述通气流路侧。