[发明专利]磁铁结构体、磁铁单元及包括此的磁控管溅射装置有效
| 申请号： | 201880005034.6 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN110073464B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 金正健;苏秉镐;金宣映;禹昌远;赵成基 | 申请（专利权）人： | ULVAC韩国股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34;H01F7/122;H01F7/02 |
| 代理公司： | 北京尚伦律师事务所 11477 | 代理人： | 张俊国 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及可利用在磁控管溅射装置的磁铁等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁结构体包括永久磁铁；及使围绕所述永久磁铁的线。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 结构 单元 包括 磁控管 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种磁控管溅射装置的磁铁结构体，其包括：永久磁铁；及线，使围绕所述永久磁铁。
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