[发明专利]扫描天线和扫描天线的制造方法有效
| 申请号： | 201880006489.X | 申请日： | 2018-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN110192306B | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 大类贵俊;大竹忠;中村涉;箕浦洁;纪藤贤一 | 申请（专利权）人： | 夏普株式会社 |
| 主分类号： | H01Q3/34 | 分类号： | H01Q3/34;G02F1/13;G02F1/1333;G02F1/1343;H01L29/786;H01Q3/44;H01Q13/22;H01Q21/06;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;张艳凤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 扫描天线(1000)具有：TFT基板(101)，其具有支撑于第1电介质基板(1)的多个TFT、以及多个贴片电极(15)；缝隙基板(201C)，其具有支撑于第2电介质基板(51)的缝隙电极(55)；液晶层，其设置在TFT基板与缝隙基板之间；以及反射导电板(65)，其以隔着电介质层与上述第2电介质基板相对的方式配置。缝隙电极(55)具有与多个贴片电极(15)对应地配置的多个缝隙(57)，贴片电极(15)连接到对应的TFT的漏极，缝隙电极(55)具有Cu层(55MC、55MD)、以及下侧金属层(55LC、55LD)和/或上侧金属层(55UD)，下侧金属层和/或上侧金属层使Cu层具有的拉伸应力减小约一半以上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 天线 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描天线，其中排列有多个天线单位，其特征在于，具有：TFT基板，其具有：第1电介质基板；支撑于上述第1电介质基板的多个TFT；多个栅极总线；多个源极总线；以及多个贴片电极；缝隙基板，其具有：第2电介质基板；以及支撑于上述第2电介质基板的第1主面的缝隙电极；液晶层，其设置在上述TFT基板与上述缝隙基板之间；以及反射导电板，其以隔着电介质层与上述第2电介质基板的与上述第1主面相反的一侧的第2主面相对的方式配置，上述缝隙电极具有与上述多个贴片电极对应地配置的多个缝隙，上述多个贴片电极各自连接到对应的TFT的漏极，上述缝隙电极具有：Cu层；以及形成在上述Cu层的上述第2电介质基板侧的下侧金属层和/或形成在上述Cu层的上述液晶层侧的上侧金属层，上述下侧金属层和/或上述上侧金属层使上述Cu层具有的拉伸应力减小约一半以上。
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