[发明专利]用于支撑基板或掩模的载体有效
| 申请号： | 201880007514.6 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110557955B | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 托马索·维尔切斯;马蒂亚斯·海曼斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;H01L21/68;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于在真空腔室中将基板或掩模支撑于第一平面中或平行于第一平面支撑的载体。载体包括用于将载体固定至对准装置的夹持装置和将夹持装置连接至载体的机械运动元件，机械运动元件允许夹持装置与载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供在夹持装置与载体之间的至少另一自由度的固定连接。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 支撑 载体 | ||
【主权项】：
1.一种载体，用于在真空腔室中将基板或掩模支撑于在第一平面中或平行于所述第一平面支撑，所述载体包括：/n夹持装置，用于将所述载体固定至对准装置；和/n机械运动元件，将所述夹持装置连接至所述载体，所述机械运动元件允许所述夹持装置与所述载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供在所述夹持装置与所述载体之间的至少另一自由度的固定连接。/n
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