[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置有效
| 申请号： | 201880008846.6 | 申请日： | 2018-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN110248910B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 日高宣浩;钉本弘训 | 申请（专利权）人： | 住友大阪水泥股份有限公司 |
| 主分类号： | C04B35/117 | 分类号： | C04B35/117;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的复合烧结体为含有作为主相的氧化铝及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，在晶界中的氧化铝的晶粒与碳化硅的晶粒之间的界面具有将氧化铝及碳化硅以外的材料作为形成材料的界面层。 | ||
| 搜索关键词： | 复合 烧结 静电 卡盘 部件 装置 | ||
【主权项】：
1.一种复合烧结体，其为含有作为主相的氧化铝及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，所述复合烧结体含有至少1个位于所述氧化铝的至少2个晶粒之间的所述碳化硅的晶粒，在所述氧化铝的所述晶粒与所述碳化硅的所述晶粒之间的晶界具有将所述氧化铝及所述碳化硅以外的材料作为形成材料的界面层。
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