[发明专利]图案描绘装置、及图案描绘方法

摘要

本发明提供了一种图案描绘方法，是一边通过多边形镜(PM)将根据图案而调变成ON或OFF的描绘射束(LBn)在基板(P)上扫描于主扫描方向，一边使基板(P)移动于副扫描方向以将图案描绘于基板(P)上。图案描绘方法，是测量在描绘射束(LBn)于主扫描方向至少扫描一次的期间加算了光电信号(SS1)的实际积分值(FXn)，该光电信号(SS1)，是从接收射入多边形镜(PM)前的描绘射束(LBn)的光电传感器(SM1d)，与描绘射束(LBn)在ON状态下的强度对应地输出。接着，根据描绘射束(LBn)在ON状态时应设定的适当强度、以及依据排列于主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而预先决定的目标积分值与实际积分值(FXn)的差，调整描绘射束(LBn)在ON状态下的强度。

主权项

1.一种图案描绘装置，其特征在于，具有以扫描构件使描绘射束扫描于主扫描方向的描绘单元，使基板与前述描绘单元相对地移动于副扫描方向以将图案描绘于前述基板上，前述描绘射束根据待描绘于基板上的图案而被ON或OFF调变，该图案描绘装置具备：存储部，在将描绘于前述基板上的前述图案分解成前述主扫描方向与前述副扫描方向的二维像素的排列时，将表示前述描绘射束的ON状态与OFF状态的描绘数据以前述像素的单位加以存储；光电传感器，输出与射入前述扫描构件前的前述描绘射束在ON状态下的强度对应的光电信号；光量测量部，测量加算了前述光电信号的实际积分光量，前述光电信号，是在前述描绘射束于前述主扫描方向至少扫描一次的期间从前述光电传感器输出；以及描绘控制装置，根据以前述描绘射束在ON状态时应设定的目标强度与排列于前述主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而求出的目标积分光量与以前述光量测量部测量的前述实际积分光量的差，调整前述描绘射束在ON状态下的目标强度。