[发明专利]感光性树脂组合物、图案的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、保护膜和电子部件

摘要

一种感光性树脂组合物，其包含下述(a)成分、(b1)成分和(b2)成分。(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱体；(b1)选自由下述式(11)所表示的化合物和下述式(12)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；(b2)选自由下述式(21)所表示的化合物和下述式(22)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其包含下述(a)成分、(b1)成分和(b2)成分，(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱体；(b1)选自由下述式(11)所表示的化合物和下述式(12)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；(b2)选自由下述式(21)所表示的化合物和下述式(22)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；式(1)中，R₁为四价有机基团，R₂为二价有机基团，R₃和R₄分别独立地为氢原子、烷基、环烷基、或具有碳‑碳不饱和双键的一价有机基团，式(11)中，R₁₁为碳原子数1～12的烷基，a为0～5的整数，R₁₂为氢原子或碳原子数1～12的烷基，R₁₃和R₁₄分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基、苯基或甲苯基，式(12)中，R₁₅为‑OH、‑COOH、‑O(CH₂)OH、‑O(CH₂)₂OH、‑COO(CH₂)OH或‑COO(CH₂)₂OH，R₁₆和R₁₇分别独立地为氢原子、碳原子数1～12的烷基、碳原子数4～10的环烷基、苯基或甲苯基，b为0～5的整数，式(21)中，R₂₁为碳原子数1～12的烷基，R₂₂和R₂₃分别独立地为氢原子、碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烷氧基、碳原子数4～10的环烷基、苯基或甲苯基，c为0～5的整数，式(22)中，R₂₄和R₂₅分别独立地为碳原子数1～12的烷基，d和e分别独立地为0～5的整数，s和t分别独立地为0～3的整数，s与t之和为3。