[发明专利]物理量传感器有效

专利信息
申请号: 201880013835.7 申请日: 2018-02-22
公开(公告)号: CN110352339B 公开(公告)日: 2021-03-12
发明(设计)人: 早川裕;与仓久则 申请(专利权)人: 株式会社电装
主分类号: G01L9/00 分类号: G01L9/00;G01P15/12
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 72002 代理人: 高迪
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 具备:第一基板(10),通过在另一表面(10b)侧形成凹部(11),在一表面(10a)侧形成薄膜部(12);第二基板(20),在一表面(20a)中的与凹部(11)对置的部分形成凹陷部(20c),第一基板(10)的凹部(11)及第二基板(20)的凹陷部(20c)为,将凹部(11)的底面的端部投影到第一基板(10)的一表面(10a)得到的投影线成为包围凹陷部(20c)的开口端的大小。并且,在薄膜部(12)中的第一基板(10)的另一表面(10b)侧的表面中,设与穿过凹陷部(20c)的开口端且沿相对于第一基板(10)的一表面(10a)的法线方向的延长线交叉的位置为特定位置,则在薄膜部(12)向凹陷部(20c)侧位移时,薄膜部(12)在特定位置处产生最大拉伸应力。
搜索关键词: 物理量 传感器
【主权项】:
1.一种物理量传感器,通过将具有薄膜部(12)的第一基板(10)与第二基板(20)粘合而构成,该物理量传感器具备:所述第一基板,具有一表面(10a)及所述一表面相反侧的另一表面(10b),在所述另一表面侧形成有凹部(11)从而在所述一表面侧形成所述薄膜部;以及第二基板(20),具有与所述第一基板的一表面接合的一表面(20a),在该一表面(20a)之中的与所述凹部对置的部分形成有凹陷部(20c),对于所述凹部及所述凹陷部而言,将所述凹部中的底面的端部投影到所述第一基板的一表面而得到的投影线(T)为包围所述凹陷部的开口端的大小,在所述薄膜部之中的所述第一基板的另一表面侧的表面中,将与穿过所述凹陷部的开口端且沿着相对于所述第一基板的一表面的法线方向的延长线(K)交叉的位置设为特定位置(D1),则所述薄膜部向所述凹陷部侧位移时,在所述薄膜部中所述特定位置处产生最大的拉伸应力。
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