[发明专利]晶圆加热装置有效
| 申请号： | 201880014866.4 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN110352626B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 竹林央史;鸟居谦悟;平田夏树 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H05B3/02 | 分类号： | H05B3/02;H01L21/02;H05B3/74 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金成哲;宋春华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 陶瓷加热器(10)在单面为晶圆载置面的圆板状的陶瓷基体(12)埋设有中央熔区电阻发热体(20)及外周熔区电阻发热体(50)。中央熔区电阻发热体(20)从一对端子(21、22)的一方到另一方以一笔划线的要领配线，一对端子(21、22)形成为，在俯视时一对端子(21、22)的整体形状为圆形。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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