[发明专利]用于极紫外光源的EUV清洁系统及其方法

摘要

公开了用于原位内联清洁设置在EUV生成腔室中的元件的方法和装置。基于毛细管的氢自由基发生器被用于从氢气形成氢自由基。基于毛细管的氢自由基发生器在操作期间被电阻加热，并且被定向成使得从氢气催化生成的氢自由基被引导到元件的表面以用于清洁表面。

主权项

1.一种用于从氢气生成氢自由基以用于清洁设置在EUV生成腔室内的元件的装置，包括：第一毛细管，被设置在所述EUV生成腔室内，所述第一毛细管具有第一毛细管第一端和第一毛细管第二端，所述第一毛细管至少具有第一毛细管内表面，所述第一毛细管内表面由催化材料形成，所述催化材料被配置为经由热诱导催化反应从所述氢气生成所述氢自由基；歧管，所述第一毛细管第一端与所述歧管耦合以促进所述歧管与所述第一毛细管第一端之间的气体传输连通；第一电端子，用于向所述第一毛细管第一端和所述歧管中的至少一者提供第一电压；第二电端子，用于向所述第一毛细管第二端提供第二电压，从而被配置用于在所述第一电压和所述第二电压被提供时电阻加热所述第一毛细管，以促进所述第一毛细管中的所述热诱导催化反应。