[发明专利]摄像装置和X射线摄像装置

摘要

本发明的一个方面的摄像装置具备：光电转换部，其将入射的光转换为电荷；以及检测部，其检测由光电转换部产生的电荷，光电转换部具备按矩阵状排列的多个光电二极管，检测部具备与多个光电二极管对应设置并按矩阵状排列的多个TFT，光电二极管具备下部电极、半导体层以及上部电极，在半导体层的周缘部，在下部电极的厚度方向的至少一部分与半导体层之间设置有绝缘层，绝缘层的端部具有该绝缘层的下表面与侧面形成锐角的锥形形状。

主权项

1.一种摄像装置，其特征在于，具备：光电转换部，其将入射的光转换为电荷；以及检测部，其检测由上述光电转换部产生的上述电荷，上述光电转换部具备按矩阵状排列的多个光电二极管，上述检测部具备与上述多个光电二极管对应设置并按矩阵状排列的多个薄膜晶体管，上述光电二极管具备下部电极、半导体层以及上部电极，在上述半导体层的周缘部，在上述下部电极的厚度方向的至少一部分与上述半导体层之间设置有绝缘层，上述绝缘层的端部具有该绝缘层的下表面与侧面形成锐角的锥形形状。