[发明专利]光电转换元件以及光电转换元件的制造方法有效

专利信息
申请号: 201880017225.4 申请日: 2018-03-28
公开(公告)号: CN110392934B 公开(公告)日: 2022-07-19
发明(设计)人: 福田将典 申请(专利权)人: 株式会社钟化
主分类号: H01L31/0224 分类号: H01L31/0224;H01L21/288;H01L31/0747
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 舒艳君;王海奇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开的光电转换元件的制造方法包括:准备半导体基板的工序,上述半导体基板具有n型半导体部和与上述n型半导体部一起构成二极管的p型半导体部;在上述n型半导体部的至少一部分形成n侧基底导电层的工序;在上述p型半导体部的至少一部分形成p侧基底导电层的工序;以及将上述n侧基底导电层和上述p侧基底导电层浸渍于电镀液中,并在上述n侧基底导电层和上述p侧基底导电层仅通过上述二极管电连接的状态下,通过对上述n侧基底导电层进行供电,从而在上述n侧基底导电层的至少一部分和上述p侧基底导电层的至少一部分形成镀层的工序。
搜索关键词: 光电 转换 元件 以及 制造 方法
【主权项】:
1.一种光电转换元件的制造方法,包括:准备半导体基板的工序,上述半导体基板具有n型半导体部和与上述n型半导体部一起构成二极管的p型半导体部;在上述n型半导体部的至少一部分形成n侧基底导电层的工序;在上述p型半导体部的至少一部分形成p侧基底导电层的工序;以及将上述n侧基底导电层和上述p侧基底导电层浸渍于电镀液中,并在上述n侧基底导电层和上述p侧基底导电层仅通过上述二极管电连接的状态下,通过对上述n侧基底导电层进行供电,从而在上述n侧基底导电层的至少一部分和上述p侧基底导电层的至少一部分形成镀层的工序。
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