[发明专利]管状蓝宝石构件、热交换器、半导体制造装置及管状蓝宝石构件的制造方法有效
| 申请号： | 201880022552.9 | 申请日： | 2018-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN110475915B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 坂野一郎;行广圭司 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/20 | 分类号： | C30B29/20;C30B15/34;F28F1/40;F28F21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 刘文海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，具备：外壁，其沿轴向延伸；多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，所述轴向与蓝宝石的c轴平行，至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。 | ||
| 搜索关键词： | 管状 蓝宝石 构件 热交换器 半导体 制造 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种管状蓝宝石构件，其中，/n所述管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，/n所述管状蓝宝石构件具备：/n外壁，其沿轴向延伸；/n多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及/n一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，/n所述轴向与蓝宝石的c轴平行，/n至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。/n
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