[发明专利]电连接装置有效
| 申请号： | 201880024849.9 | 申请日： | 2018-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN110506212B | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 伊藤达哉 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;张会华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电连接装置，其包括：多个探针(10)，在测量时，该多个探针的端头部与被检查体(2)相接触；以及空间转换器(30)，其具有多个连接布线(33)，该多个连接布线的与多个探针(10)中的任一个探针的基端部电连接的第1端子配置于该空间转换器的第1主表面(301)，且该多个连接布线的第2端子在该空间转换器的第2主表面(302)暴露，在第1主表面形成有短路布线图案，该短路布线图案将多个探针(10)中在测量时被设定为相同电位的多个相同电位探针的基端部与相同的连接布线(33)电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 连接 装置 | ||
【主权项】：
1.一种电连接装置，其用于测量被检查体的电特性，其特征在于，/n该电连接装置包括：/n多个探针，在测量时，该多个探针的端头部与所述被检查体相接触；以及/n空间转换器，其具有多个连接布线，该多个连接布线的与所述多个探针中的任一个探针的基端部电连接的第1端子配置于该空间转换器的第1主表面，且该多个连接布线的第2端子在该空间转换器的第2主表面暴露，在所述第1主表面形成有短路布线图案，该短路布线图案将所述多个探针中在测量时被设定为相同电位的多个相同电位探针的基端部与相同的所述连接布线电连接。/n
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