[发明专利]废气的减压除害装置在审
申请号: | 201880025531.2 | 申请日: | 2018-05-02 |
公开(公告)号: | CN110573234A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 前田昌志;吉田哲久;柳泽道彦;塚田勉;今村启志 | 申请(专利权)人: | 北京康肯环保设备有限公司 |
主分类号: | B01D53/76 | 分类号: | B01D53/76;B01D53/46;B01D53/68;F23G7/06;H01L21/02 |
代理公司: | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 刘杨 |
地址: | 100052 北京市朝阳区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供能够使稀释用的氮气的使用极小化、能量的利用效率和经济性优异的废气的除害装置。即,本发明的废气的减压除害装置具有反应筒(16),该反应筒(16)将经由真空泵(14)从废气产生源(12)供给的废气(E)在形成于其内部的废气处理空间(16a)中通过电热加热器(18)或等离子体加热或激发而进行分解和/或反应处理。在该反应筒(16)的废气出口(20)侧连接有从上述真空泵(14)的排气口到上述反应筒(16)的内部进行减压的后级真空泵(22)。由水封泵构成该后级真空泵(22),并且设置用清洗水(W)对上述反应筒(16)的废气流路的下游端侧进行水洗的水洗部件(24)。然后,将从该水洗部件(24)供给的清洗水(W)作为上述后级真空泵(22)的密封水。 | ||
搜索关键词: | 反应筒 真空泵 废气 除害装置 减压 清洗水 等离子体加热 氮气 电热加热器 废气出口 废气处理 废气流路 侧连接 产生源 密封水 排气口 水封泵 下游端 稀释 分解 激发 | ||
【主权项】:
1.一种废气的减压除害装置,是具备反应筒(16)和后级真空泵(22)的废气(E)的减压除害装置,/n该反应筒(16)将经由真空泵(14)从废气产生源(12)供给的废气(E)在形成于所述反应筒(16)的内部的废气处理空间(16a)中通过电热加热器(18)或等离子体进行加热或激发而进行分解和/或反应处理;/n该后级真空泵(22)与所述反应筒(16)的废气出口(20)侧连接,从所述真空泵(14)的排气口到所述反应筒(16)的内部进行减压,/n其特征在于,/n由水封泵构成所述后级真空泵(22),并且设置用清洗水(W)对所述反应筒(16)的废气流路的下游端侧进行水洗的水洗部件(24),/n将从所述水洗部件(24)供给到所述反应筒(16)的废气流路的下游端侧的清洗水(W)作为所述后级真空泵(22)的密封水。/n
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