[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法有效
| 申请号： | 201880027159.9 | 申请日： | 2018-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN110546487B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 本田敏文;松本俊一;幕内雅巳;浦野雄太;冈惠子 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的缺陷检查装置具备：照明部，其向试样的检查对象区域照明从光源射出的光；检测部，其检测从上述检查对象区域产生的多个方向的散射光；光电变换部，其将通过上述检测部检测出的上述散射光变换为电信号；信号处理部，其对通过上述光电变换部变换后的上述电信号进行处理，检测上述试样的缺陷，上述检测部具备对开口进行分割而在上述光电变换部上形成多个像的成像部，上述信号处理部对与成像的上述多个像对应的电信号进行合成，检测上述试样的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，具备：/n照明部，其向试样的检查对象区域照明从光源射出的光；/n检测部，其检测从上述检查对象区域产生的多个方向的散射光；/n光电变换部，其将通过上述检测部检测出的上述散射光变换为电信号；/n信号处理部，其对通过上述光电变换部变换后的上述电信号进行处理，检测上述试样的缺陷，/n上述检测部具备对开口进行分割而在上述光电变换部上形成多个像的成像部，/n上述信号处理部对与成像的上述多个像对应的电信号进行合成，检测上述试样的缺陷。/n
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