[发明专利]超纯水制造系统及超纯水制造方法在审
| 申请号： | 201880027433.2 | 申请日： | 2018-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN110678420A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 天谷徹;丸山和郎 | 申请（专利权）人： | 野村微科学股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/42 | 分类号： | C02F1/42;B01J39/05;B01J39/20;B01J41/05;B01J41/14;C02F1/32;C02F1/44;C02F9/12 |
| 代理公司： | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 白丽 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种超纯水制造系统，其是具备硼吸附树脂混合离子交换树脂的超纯水制造系统，其能够长时间得到硼浓度及TOC浓度低的高水质的超纯水。超纯水制造系统是将包含硼成分和总有机碳成分的被处理水进行处理而制造超纯水的超纯水制造系统，其依次具备：对被处理水以0.05kWh/m | ||
| 搜索关键词： | 超纯水制造系统 硼吸附 紫外线氧化装置 被处理水 树脂混合 超纯水 离子交换树脂装置 阴离子交换树脂 离子交换树脂 离子交换装置 紫外线照射量 阴离子交换 混床树脂 总有机碳 高水质 再生型 树脂 紫外线 混床 照射 制造 | ||
【主权项】：
1.一种超纯水制造系统，其特征在于，其是将包含硼成分和总有机碳成分的被处理水进行处理而制造超纯水的超纯水制造系统，其依次具备：/n对所述被处理水以0.05kWh/m
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