[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物以及使用其而形成的固化膜在审
| 申请号： | 201880027487.9 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110709773A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 吉田尚史;高桥惠;谷口克人 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/022 | 分类号： | G03F7/022;G03F7/023;G03F7/031;G03F7/075 |
| 代理公司： | 11216 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | [目的]本发明提供一种可形成具有高的透射率的固化膜的正型感光性组合物。[手段]一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、包含季铵结构并且可与前述聚硅氧烷相互作用的添加剂、以及溶剂。在添加剂与聚硅氧烷之间，在曝光之前存在有相互作用，但是利用曝光而使得该相互作用失去。 | ||
| 搜索关键词： | 聚硅氧烷 添加剂 正型感光性硅氧烷组合物 正型感光性组合物 重氮基萘 醌衍生物 曝光 固化膜 透射率 溶剂 季铵 | ||
【主权项】：
1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含：/n(I)聚硅氧烷，其包含由以下的通式(Ia)表示的重复单元：/n
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