[发明专利]在微机电系统中提供吸气剂的系统和方式在审
| 申请号： | 201880027814.0 | 申请日： | 2018-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110678415A | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 李大成;杰夫·俊杰·黄;辛宗佑;金邦尚;罗史瓦拉恩·夫拉亚·杰拉马 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 11315 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 南霆;程爽 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开内容公开用以于微机电系统中提供吸气剂的系统与方法。在一些实施例中，微机电系统(MEMS)被接合至基底。所述MEMS及所述基底之间具有第一空腔及第二空腔。第一吸气剂被提供于所述第一空腔中所述基底上，且与电极被整合。第二吸气剂被提供于所述基底上的鈍化层上方的所述第一空腔中。在一些实施例中，所述第一空腔为陀螺仪空腔，且所述第二空腔为加速度计空腔。 | ||
| 搜索关键词： | 第一空腔 基底 吸气剂 微机电系统 第二空腔 空腔 加速度计 接合 电极 陀螺仪 化层 整合 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：/n接合微机电系统(MEMS)至基底，所述MEMS与所述基底之间具有第一空腔及第二空腔；/n于所述第一空腔中的所述基底上提供第一吸气剂；/n整合所述第一吸气剂与电极；以及/n于所述基底上的鈍化层上方的所述第一空腔中提供第二吸气剂。/n
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