[发明专利]带电粒子源模块有效
申请号: | 201880031355.3 | 申请日: | 2018-04-10 |
公开(公告)号: | CN110622276B | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | L·迪努-格尔特勒;E·P·霍杰沃斯特;J·范索伊斯特 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01J1/88 | 分类号: | H01J1/88;H01J37/065 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 李兴斌 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于产生和发射诸如电子束之类的带电粒子束的带电粒子源模块,包括:框架,其包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在所述第一框架部分和所述第二框架部分之间的一个或多个刚性支撑构件;用于产生诸如电子束的带电粒子束的带电粒子源装置,其中诸如电子源的所述带电粒子源装置被布置在所述第二框架部分处;以及布置在所述第一框架部分处的电力连接组件,其中所述带电粒子源装置经由电线电连接至所述连接组件。 | ||
搜索关键词: | 带电 粒子 模块 | ||
【主权项】:
1.一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块,包括:/n-框架,所述框架包括第一刚性框架部分、第二刚性框架部分以及布置在所述第一框架部分和所述第二框架部分之间并与所述第一框架部分和所述第二框架部分刚性连接的一个或多个刚性支撑构件;/n-用于产生带电粒子束的带电粒子源装置,其中所述带电粒子源装置被布置在所述第二框架部分处;和/n-布置在所述第一框架部分处的电力连接组件,/n其中所述带电粒子源装置经由电线电连接至所述电力连接组件。/n
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