[发明专利]器件的检查方法在审
| 申请号： | 201880032619.7 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN110869780A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 加贺美徹也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 包括以下工序：第一工序，对与测试器并联连接的多个器件同时输入规定的模式的检查信号来开始规定的模式的检查；第二工序，在规定的模式中判定是否包括不合格的器件；第三工序，在第二工序中判定为包括不合格的器件的情况下，针对多个器件的各器件依次执行规定的模式来进行合格或不合格的判定；以及第四工序，将通过第三工序被判定为不合格的器件排除，其中，针对被排除的器件以外的器件进行之后的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 检查 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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