[发明专利]致动器、线性马达和光刻设备有效
| 申请号： | 201880033200.3 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN110637410B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | N·C·P·J·海尔茨;F·斯坦德霍德尔斯;E·G·B·霍夫斯泰 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H02K41/00 | 分类号： | H02K41/00;H02K9/22 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张启程 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种致动器，包括线圈、第一冷却板和第二冷却板。所述冷却板被配置为冷却所述线圈。第一冷却板和第二冷却板被布置在线圈的相对侧以与线圈热接触。所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分，所述第一线圈部分面向所述第一冷却板，所述第二线圈部分面向所述第二冷却板，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开。所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构，其中线圈部分被布置在冷却板之间，并且所述间隔被布置在所述线圈部分之间。所述致动器还包括布置在间隔中的填充元件。填充元件将第一线圈部分推向第一冷却板并且将第二线圈部分推向第二冷却板。 | ||
| 搜索关键词： | 致动器 线性 马达 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种致动器，包括：/n线圈；/n第一冷却板和第二冷却板，所述第一冷却板和所述第二冷却板被配置用以冷却所述线圈，所述第一冷却板和所述第二冷却板被布置在所述线圈的相对侧以与所述线圈热接触；/n其中，所述线圈包括第一线圈部分和第二线圈部分，所述第一线圈部分面向所述第一冷却板，所述第二线圈部分面向所述第二冷却板，所述第一线圈部分和所述第二线圈部分被它们之间的间隔分开；/n其中，所述第一冷却板、所述第一线圈部分、所述间隔、所述第二线圈部分和所述第二冷却板形成叠置结构，其中线圈部分被布置在冷却板之间，并且所述间隔被布置在所述线圈部分之间；以及/n其中，所述致动器还包括布置在所述间隔中的填充元件，所述填充元件将所述第一线圈部分推向所述第一冷却板，并将所述第二线圈部分推向所述第二冷却板。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880033200.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
