[发明专利]表面处理装置和搬送治具有效
申请号: | 201880034079.6 | 申请日: | 2018-05-25 |
公开(公告)号: | CN110709538B | 公开(公告)日: | 2022-04-12 |
发明(设计)人: | 石井胜己;渡边重幸 | 申请(专利权)人: | ALMEX科技株式会社 |
主分类号: | C25D17/08 | 分类号: | C25D17/08;B23P19/00;C25D17/06;C25D21/00 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 于靖帅;黄纶伟 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 表面处理装置(10)具有:表面处理槽(200),其收纳处理液(Q),具有上部开口(200A);搬送治具(30),其包含将工件(20)保持为从表面处理槽的上部开口向处理液内垂下的工件保持部(340),并且该搬送治具(30)沿着搬送方向(A)对工件(20)进行搬送;供电部(260),其与搬送治具接触,向工件供电;驱动部(270),其向搬送治具赋予驱动力,对搬送治具进行搬送驱动;以及引导部(280),其与搬送治具接触,对搬送治具进行搬送引导,在俯视观察时,引导部与工件保持部的距离(L1)比驱动部与工件保持部的距离(L2)短,并且比供电部与工件保持部的距离(L3)短。 | ||
搜索关键词: | 表面 处理 装置 搬送治具 | ||
【主权项】:
1.一种表面处理装置,其特征在于,/n该表面处理装置具有:/n表面处理槽,其收纳处理液,具有上部开口;/n搬送治具,其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部,并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送;/n供电部,其与所述搬送治具接触,向所述工件供电;/n驱动部,其向所述搬送治具赋予驱动力,对所述搬送治具进行搬送驱动;以及/n引导部,其与所述搬送治具接触,对所述搬送治具进行搬送引导,/n在俯视观察时,所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短,并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。/n
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