[发明专利]从支撑台卸载物体的方法在审
| 申请号： | 201880037425.6 | 申请日： | 2018-05-03 |
| 公开（公告）号： | CN110741319A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | G·德西蒙;M·A·P·范德赫乌维尔;T·S·M·劳伦特;R·H·M·J·布洛克斯;N·J·J·罗塞特;J·J·H·格里特曾 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/683 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 一种在卸载过程期间从支撑台卸载物体的方法，所述物体在曝光过程期间通过以下方式被夹持到所述支撑台：向所述物体的中心部分下方的所述支撑台的中心区域施加第一压力；以及向物体的周缘部分下方的支撑台的周缘区域施加第二压力，其中在夹持期间控制所述第一压力和所述第二压力，使得液体被保持在物体与密封构件之间，所述密封构件在支撑台的上表面处径向地定位在所述中心区域与所述周缘区域之间，并且朝向所述物体突出，所述方法包括：朝向环境压力增大所述第一压力；通过减小所述第二压力来去除保持在所述物体与所述密封构件之间的液体中的至少一些液体；以及朝向所述环境压力增大所述第二压力。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑台 密封构件 环境压力 中心区域 周缘区域 夹持 施加 曝光过程 卸载过程 上表面 减小 去除 卸载 | ||
【主权项】：
1.一种在卸载过程期间从支撑台卸载物体的方法，所述物体在曝光过程期间通过以下方式被夹持到所述支撑台：/n向所述物体的中心部分下方的所述支撑台的中心区域施加第一压力；和/n向所述物体的周缘部分下方的所述支撑台的周缘区域施加第二压力，其中在夹持期间控制所述第一压力和所述第二压力，使得液体被保持在所述物体与密封构件之间，所述密封构件在所述支撑台的上表面处径向地定位于所述中心区域与所述周缘区域之间，并且朝向所述物体突出，所述方法包括：/n朝向环境压力增大所述第一压力；/n通过减小所述第二压力来去除保持在所述物体与所述密封构件之间的液体中的至少一些液体；和/n朝向所述环境压力增大所述第二压力。/n
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