[发明专利]微机械压力传感器组件和用于制造微机械压力传感器组件的方法在审
| 申请号： | 201880037627.0 | 申请日： | 2018-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN111033204A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | M·克瑙斯;R·屈尔斯;U·席勒;L·绍丹;S·舒勒-瓦特金斯;D·豪格 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | G01L19/06 | 分类号： | G01L19/06;G01L19/14;H01L23/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械压力传感器组件(100)，具有：衬底(110)；与所述衬底(110)连接的压力传感器构件(120)；和基本上空心截锥形的套筒结构(130)，该套筒结构与所述衬底(110)连接，该套筒结构至少在横向上围绕所述压力传感器构件(120)，并且该套筒结构在所述套筒结构(130)的背离所述衬底(110)的一侧上具有开口(140)。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 压力传感器 组件 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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