[发明专利]光致抗蚀剂组合物有效
| 申请号： | 201880038114.1 | 申请日： | 2018-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN110892325B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 朴贤旻;林敏映;李泰燮 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/20;G03F7/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 梁笑;吴娟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及化学增幅型光致抗蚀剂组合物，其包含碱溶性树脂，所述碱溶性树脂包含含有其中杂环化合物经由包含具有1至20个碳原子的硫化亚烷基的二价官能团取代的基于(甲基)丙烯酸酯的重复单元的基于(甲基)丙烯酸酯的树脂。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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