[发明专利]气体供应系统在审
| 申请号： | 201880039077.6 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN110785221A | 公开（公告）日： | 2020-02-11 |
| 发明（设计）人： | 林泰俊;金志勋;姜泰旭 | 申请（专利权）人： | 弗萨姆材料美国有限责任公司 |
| 主分类号： | B01F3/00 | 分类号： | B01F3/00;C23C16/00;F17C5/00;G05D7/00;G05D16/00 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 吴亦华;徐志明 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的气体供应系统配备有气罐装置，该气罐装置具有将处理气体供应到处理室的气动阀，和通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀的电磁阀；和控制电磁阀的致动的气体供应控制装置。另外，所述气体供应控制装置包括主控制器，其在正常操作期间控制所述电磁阀的致动；和子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且如果感测到异常，则代替所述主控制器控制所述电磁阀的致动。 | ||
| 搜索关键词： | 主控制器 电磁阀 气动阀 致动 气体供应控制装置 气罐装置 感测 处理气体供应 气体供应系统 控制电磁阀 异常状态 子控制器 阀致 配备 | ||
【主权项】：
1.一种气体供应系统，其配备有气罐装置，所述气罐装置具有一个或多个控制向处理室供应处理气体的气动阀，以及一个或多个电磁阀，所述电磁阀通过向所述气动阀供应或停止阀致动气体的流来打开或关闭所述气动阀；和/n气体供应控制装置，其控制所述一个或多个电磁阀的操作；其中所述气体供应控制装置包括：/n主控制器，其在正常操作期间控制所述一个或多个电磁阀的致动，和/n子控制器，其感测所述主控制器的异常状态，并且在感测到异常时，代替所述主控制器控制所述一个或多个电磁阀的致动；/n其中所述主控制器和所述子控制器通过数字或模拟或数字和模拟接口来共享数字或模拟或数字和模拟感测信息。/n
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