[发明专利]器件制造方法有效
| 申请号： | 201880040055.1 | 申请日： | 2018-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN110785707B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | R·拉赫曼;H·E·采克利;C·D·格乌斯塔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G05B19/418;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种器件制造方法，所述方法包括：获得已经执行曝光步骤和过程步骤的多个衬底的测量数据时间序列；获得与主要在对所述多个衬底中的至少部分执行所述过程步骤时的条件相关的状态数据时间序列；对所述测量数据时间序列和所述状态数据时间序列应用滤波器以获得被滤波的数据；和使用所述被滤波的数据确定将要对后续衬底执行的曝光步骤中施加的校正。 | ||
| 搜索关键词： | 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种器件制造方法，所述方法包括：/n获得已经执行曝光步骤和过程步骤的多个衬底的测量数据时间序列；/n获得与主要在对所述多个衬底中的至少部分执行所述过程步骤时的条件相关的状态数据时间序列；/n对所述测量数据时间序列和所述状态数据时间序列应用滤波器以获得被滤波的数据；和/n使用所述被滤波的数据确定将要对后续衬底执行的曝光步骤中施加的校正。/n
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