[发明专利]光束扩散器系统及方法有效
申请号: | 201880040290.9 | 申请日: | 2018-05-15 |
公开(公告)号: | CN110785708B | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
发明(设计)人: | 阿德里安努斯·约翰内斯·帕特鲁斯·玛利亚·维梅尔;米哈伊尔·尤利耶维奇·洛克特夫;德克·安德烈·科特 | 申请(专利权)人: | 库力索法利特克有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G02B5/02;G02B27/48 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;王艳春 |
地址: | 荷兰埃*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种用以光学扩散光束(L1,L2)的扩散器系统(100)及方法。提供至少两个透射扩散器窗口(11,21)。扩散器窗口(11,21)经设置成依序扩散透射穿过彼等的光束(L1,L2)。扩散器系统(100)经配置为以角速度(ω1,ω2)连续转动扩散器窗口(11,21),用以均匀化透射光束(L1,L2)的扩散图样。扩散器窗口(11,21)经配置为绕着不同的旋转轴线(C1,C2)旋转。不同旋转轴线(C1,C2)互相平行且以径向中心距离(d12)彼此偏离。第一扩散器窗口(11,21)的转动分区与第二转动扩散器窗口(11,21)的转动分区部分重叠。部分重叠的转动分区限定用以均匀化且扩散透射光束(L1,L2)的光束窗口(W12)。 | ||
搜索关键词: | 光束 扩散器 系统 方法 | ||
【主权项】:
1.一种用以光学扩散光束(L1,L2)的扩散器系统(100),所述扩散器系统(100)包括至少两个透射扩散器窗口(11,21),其中所述扩散器窗口(11,21)设置成依序扩散透射穿过所述扩散器窗口(11,21)的所述光束(L1,L2),其中所述扩散器系统(100)经配置为以角速度(ω1,ω2)连续转动所述扩散器窗口(11,21),用以均匀化透射光束(L1,L2)的扩散图样,其中所述扩散器窗口(11,21)经配置为绕着不同旋转轴线(C1,C2)旋转,其中所述不同旋转轴线(C1,C2)互相平行且以径向中心距离(d12)彼此偏离,其中所述第一扩散器窗口(11)的转动分区与所述第二转动扩散器窗口(12)的转动分区部分重叠,其中部分重叠的所述转动分区限定用以均匀化且扩散所述透射光束(L1,L2)的光束窗口(W12),其中所述扩散器窗口(11,21)被各自的可转动环(12,22)保持,其中所述可转动环(12,22)经配置为在各自的轴承结构(13,23)内旋转,其中所述径向中心距离(d12)小于所述扩散器窗口(11,21)的半径(R1,R2)或一半的直径(D1,D2)。/n
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