[发明专利]光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜有效
| 申请号： | 201880040313.6 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110785705B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 朴银石;林敏映;金智慧 | 申请（专利权）人： | 株式会社LG化学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/033;G03F7/028;G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 高世豪;梁笑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及光致抗蚀剂组合物和使用其的光致抗蚀剂膜，所述光致抗蚀剂组合物能够在形成精细图案期间实现优异的图案性能，并且能够制备具有优异的镀覆液化学稳定性的光致抗蚀剂膜。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 组合 使用 光致抗蚀剂膜 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂组合物，包含(甲基)丙烯酸类树脂，所述(甲基)丙烯酸类树脂包含(甲基)丙烯酸类重复单元和键合至所述重复单元的支链末端的由以下化学式1表示的官能团：/n[化学式1]/n
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