[发明专利]光学组件有效
| 申请号： | 201880043079.2 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799817B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 铃木智史;港谷恭辅;杉本达哉;藏本丰 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01J3/06;G01J3/10;G01J3/14;G01J3/45;G01J3/453;G01B9/02015;G02B27/14;G02B7/198;G02B26/08;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的光学组件(1)包括：包括基体(21)、可动反射镜(22)和固定反射镜(16)的反射镜单元(2)；配置在Z轴方向上的反射镜单元(2)的一侧的分束器单元(3)；使检测光(L0)入射至分束器单元(3)的光入射部(4)；配置在Z轴方向上的分束器单元(3)的一侧，检测从分束器单元(3)出射的检测光的干涉光(L1)的第1光检测器(6)；用于安装反射镜单元(2)的支承体(9)；用于支承分束器单元(3)的第1支承结构(11)；和安装于支承体(9)的、支承第1光检测器(6)的第2支承结构(12)。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 组件 | ||
【主权项】：
1.一种光学组件，其特征在于，包括：/n包括具有第1表面的基体、可动反射镜和固定反射镜的反射镜单元，其中所述可动反射镜以能够沿与所述第1表面交叉的第1方向移动的方式被支承于所述基体，所述固定反射镜相对于所述基体的位置被固定；/n分束器单元，其配置在所述第1方向上的所述反射镜单元的一侧，与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统；/n使从第1光源经测量对象入射的检测光或从测量对象发出的检测光入射至所述分束器单元的光入射部；/n第1光检测器，其配置在所述第1方向上的所述分束器单元的所述一侧，检测从所述分束器单元出射的所述检测光的干涉光；/n用于安装所述反射镜单元的支承体；/n用于支承所述分束器单元的第1支承结构；和/n安装于所述支承体的、用于支承所述第1光检测器的第2支承结构。/n
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