[发明专利]光学装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201880043713.2 | 申请日： | 2018-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN110799888B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 杉本达哉;铃木智史;港谷恭辅 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00;G01B9/02;G01J3/45 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明将提供一种能够抑制粘附的产生并且能够使可动部沿着规定方向大幅移动的光学装置及其制造方法作为目的。本发明的光学装置(10)具备：基座(12)；可动部(11)，其具有光学功能部(11a)；弹性支撑部(14、15)，其以可动部(11)能够沿着第1方向移动的方式支撑可动部；第1梳齿电极(161)，其设置于基座(12)；及第2梳齿电极(162)，其设置于可动部(11)及弹性支撑部(14、15)的至少一者且具有多个第2梳齿。弹性支撑部(14、15)具有沿着与第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒(147、157)、及连接有扭力棒(147、157)的杆(141、151)。第2梳齿电极(162)设置于可动部及弹性支撑部的至少一者中位于较扭力棒(147、157)更靠光学功能部(11a)侧的部分。相邻的第1梳齿(161a)与第2梳齿(162a)在第2方向、或与第1方向及第2方向垂直的第3方向中可动部的外力耐受性高的方向上彼此相对。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学装置，其特征在于，/n具备：/n基座；/n可动部，其具有光学功能部；/n弹性支撑部，其连接于所述基座与所述可动部之间，以所述可动部能够沿着第1方向移动的方式支撑所述可动部；/n第1梳齿电极，其设置于所述基座，且具有多个第1梳齿；及/n第2梳齿电极，其设置于所述可动部及所述弹性支撑部的至少一者，且具有与所述多个第1梳齿相互交替地配置的多个第2梳齿，/n所述弹性支撑部具有沿着与所述第1方向垂直的第2方向延伸的扭力棒、及连接有所述扭力棒的杆，/n所述第2梳齿电极设置于所述可动部及所述弹性支撑部的至少一者中位于较所述扭力棒更靠近所述光学功能部侧的部分，/n相邻的所述第1梳齿与所述第2梳齿在所述第2方向、或与所述第1方向及所述第2方向垂直的第3方向中所述可动部的外力耐受性高的方向上彼此相对。/n
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