[发明专利]化合物、图案形成用基板、偶联剂和图案形成方法在审
| 申请号： | 201880046689.8 | 申请日： | 2018-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN110891955A | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 川上雄介;山口和夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康;学校法人神奈川大学 |
| 主分类号： | C07D495/04 | 分类号： | C07D495/04;C07F7/18;G03F7/004;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 褚瑶杨;庞东成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种化合物、图案形成用基板、偶联剂、图案形成方法。一种下述通式(1)所表示的化合物。[式中，X |
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| 搜索关键词： | 化合物 图案 形成 用基板 偶联剂 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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