[发明专利]基板研磨装置及基板研磨装置的研磨液吐出方法有效
| 申请号： | 201880054220.9 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111032283B | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 户川哲二;小林贤一 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/00 | 分类号： | B24B37/00;B24B7/04;B24B47/26;B24B55/06;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在研磨液通过旋转接头内的基板研磨装置中，需要实施旋转接头的维修。本发明公开一种基板研磨装置，具有：用于保持基板的研磨头；表面设有第一开口部的旋转台；设于旋转台的研磨液吐出机构；及至少控制研磨液吐出机构的控制部，研磨液吐出机构具有：第一气缸、第一活塞、及驱动第一活塞的驱动机构，第一开口部与由第一气缸及第一活塞规定的液体保持空间连通，控制部控制驱动机构对第一活塞的驱动，使液体保持空间的容积增减。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 吐出 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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