[发明专利]用于捕获在材料路径上行进的材料的容器在审
| 申请号： | 201880054900.0 | 申请日： | 2018-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN111034367A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | A·B·里丁格;K·J·斯卡菲迪;M·A·小佩里 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H05G2/00 | 分类号： | H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;崔卿虎 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种靶材料容器包括：包括沿第一方向延伸的通路的结构，该通路被配置为接收沿靶材料路径行进的靶材料；以及偏转器系统，其被配置为从通路接收靶材料。偏转器系统包括多个偏转器元件。每个偏转器元件相对于靶材料的实例沿靶材料路径行进的行进方向以第一锐角被定向，并且偏转器系统中的每个偏转器元件与最近的偏转器元件沿与第一方向不同的第二方向分开一定距离。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 捕获 材料 路径 行进 容器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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