[发明专利]用于互连的扩散阻挡衬层在审
| 申请号： | 201880055006.5 | 申请日： | 2018-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN111095532A | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | R·坎卡尔;C·E·尤佐 | 申请（专利权）人： | 伊文萨思粘合技术公司 |
| 主分类号： | H01L23/00 | 分类号： | H01L23/00;H01L21/52;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 酆迅 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 技术和装置的代表性实施方式用于减少或防止导电材料扩散到结合衬底的绝缘材料或电介质材料中。由于重叠，错位的导电结构可以直接接触衬底的电介质部分，尤其是在采用直接结合技术的情况下。通常在重叠处将可以抑制扩散的阻挡界面设置在导电材料和电介质之间。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 互连 扩散 阻挡 | ||
【主权项】：
暂无信息
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